Identifikacija proizvoda
|
Stavka |
Specifikacija |
|
Naziv proizvoda |
G4 Fosforna kiselina |
|
Kategorija proizvoda |
Semiconductor Electronic Wet Chemical |
|
Hemijski naziv |
Fosforna kiselina |
|
Hemijska formula |
H₃PO₄ |
|
CAS br. |
7664-38-2 |
|
Molecular Weight |
98.00 |
|
UN broj |
1805 |
|
Ocjena |
SEMI G4 Ultra-elektronski razred visoke čistoće |
Pregled proizvoda
G4 fosforna kiselina je ultra-visoke-slaba neorganska kiselina, posebno rafinirana za naprednu proizvodnju poluvodičkih pločica i proizvodnju mikroelektronike. Proizveden kroz više-stepeno prečišćavanje, ultra-finu filtraciju i klasu 1000 čiste-zapečaćene prostorije procesa punjenja, proizvod sadrži izuzetno malo tragova metalnih jona, anjonskih nečistoća i mikro-čestica, potpuno usklađen sa strogim SEMI G4 međunarodnim poluprovodničkim standardima.
Ova hemikalija ima odlične performanse selektivnog jetkanja za silicijum nitrid, tanke aluminijumske filmove i specifične dielektrične materijale, sa stabilnom brzinom jetkanja i superiornom kontrolom procesa. Prouzrokuje minimalno oštećenje silikonskih supstrata i oksidnih slojeva, efikasno uklanja površinske zaostale zagađivače i ispunjava ultra-visoke zahtjeve za čistoćom za napredne procese vafla. Stroga kontrola nečistoća eliminiše rizik od mikro-defekta, osiguravajući visok prinos i stabilan rad za visoko{4}}preciznu proizvodnju poluprovodnika.
Izgled:Bezbojna, providna, sirupasta viskozna tečnost, bez mirisa
Tehničke specifikacije (SEMI G4 Standard)
|
Test Item |
Specifikacija |
|
H₃PO₄ Analiza |
84,0 ~ 86.0 tež.% |
|
Izgled |
Bezbojna i bistra prozirna viskozna tečnost |
|
Boja (APHA) |
Manje ili jednako 10 |
|
Gustina @ 20 stepeni |
1,68 ~ 1,71 g/cm³ |
|
Ostatak isparavanja |
Manje ili jednako 30 ppb |
|
Pojedinačni metali u tragovima (Na, K, Ca, Mg, Fe, Cu, Al, Zn, Ni, Cr) |
Manje ili jednako 10 ppb svaki |
|
sulfat (SO₄²⁻) |
Manje ili jednako 30 ppb |
|
hlorid (Cl⁻) |
Manje ili jednako 30 ppb |
|
nitrati (NO₃⁻) |
Manje ili jednako 30 ppb |
|
Reducirajuće supstance (kao H₃PO₃) |
Manje ili jednako 50 ppb |
|
Čestice veće ili jednake 0,2 μm |
Manje ili jednako 100 kom/mL |
Napomena:Svi podaci testiranja su zasnovani na serijsko{0}}specifičnom COA (Certifikat analize).
Primjene (mokri proces poluprovodnika)
Jetkanje silicijum nitridom i aluminijumskim filmom:Hemikalija za mokro nagrizanje jezgra za prednje{0}} procese poluprovodnika, koja se koristi za precizno jetkanje tankih filmova Si₃N₄, aluminijskih metalnih kapija i slojeva aluminijskih jastučića. Odlikuje se odličnom selektivnošću jetkanja, efikasno štiti silicijum oksid i silicijumsku podlogu, istovremeno osiguravajući ujednačenu i stabilnu morfologiju jetkanja.
Precizno čišćenje površine pločice:Uklanja mikro-čestice, zaostale neorganske nečistoće i površinske tragove zagađivača koji nastaju tokom procesa jetkanja i taloženja. Karakteristike niske-ione izbjegavaju sekundarno zagađenje, održavajući ultra-visoku čistoću površine pločica za naprednu litografiju i procese taloženja.
Formulacija složene vlažne otopine:Koristi se za pripremu mješovitih rješenja za nagrizanje i čišćenje visoke-čistoće za specijalne poluprovodničke procese, u skladu sa zahtjevima visoko{1}}precizne mikro-nano proizvodnje integriranih kola.
MEMS i napredna poluprovodnička ambalaža:Primjenjuje se za mikro-jetkanje i površinsku obradu MEMS uređaja, mikro-senzora i naprednih struktura pakovanja čipova, osiguravajući preciznu definiciju uzorka i stabilne performanse uređaja.
Standard pakovanja i punjenja
Vrsta pakovanja:HDPE zapečaćeni bubanj otporan na koroziju-grade,-namjensko pakovanje visoke čistoće fosforne kiseline
Uobičajena specifikacija:25kg / 30kg mali bubanj, 1000kg IBC torba otporna na koroziju-
Okruženje za punjenje:Čista soba klase 1000, potpuno zatvoren ultra{1}}čisti sistem punjenja, striktna kontrola unošenja čestica i nečistoća kako bi se izbjegla sekundarna kontaminacija
Standard za zaptivanje:Zapečaćena struktura otporna na-nepropusnost-otporna na curenje, protiv-zagađivanja i-propadanja, osiguravajući dugoročnu-stabilnost čistoće
Skladištenje i rok trajanja
● Čuvajte u hladnom, suvom, provetrenom skladištu hemikalija, dobro zatvoreno, dalje od direktne sunčeve svetlosti, visoke temperature i izvora toplote.
● Izolujte od alkalnih supstanci, jakih oksidanata, metalnih prahova i korozivnih nekompatibilnih materijala da biste sprečili hemijske reakcije i degradaciju čistoće.
● Izbjegavajte dugo-otvoreno postavljanje i apsorpciju vlage kako biste spriječili obogaćivanje nečistoćama i promjenu performansi.
● Rok trajanja:12 meseci pod standardnim zatvorenim uslovima skladištenja
Rukovanje i sigurnosne mjere
● Fosforna kiselina je umjereno korozivna i higroskopna. Operateri moraju nositi standardnu kompletnu zaštitnu opremu: rukavice-otporne na kiseline, zaštitne naočale za hemikalije, pregaču-otpornu na koroziju i zaštitnu radnu odjeću.
● Sve radnje razrjeđivanja, uzorkovanja i rukovanja moraju se obavljati u profesionalnoj haubi kako bi se izbjeglo udisanje magle i direktan kontakt sa kožom i sluzokožom.
● Tokom razblaživanja, polako dodajte fosfornu kiselinu u dejonizovanu vodu; nikada nemojte dodavati vodu u koncentrovanu fosfornu kiselinu da biste sprečili prskanje i hemijske povrede.
● U slučaju prskanja tečnosti, kontakta sa kožom ili curenja, odmah obavite hitno čišćenje i odlaganje u skladu sa standardnim operativnim procedurama.
● Pogledajte zvanični SDS dokument za sveobuhvatne informacije o opasnostima, propise o transportu i detaljne{0}}mjere prve pomoći.
Osiguranje kvaliteta
Svaka serija G4 fosforne kiseline se proizvodi, pročišćava i kontroliše u strogom skladu sa SEMI G4 međunarodnim standardima industrije poluprovodnika. Svaka pošiljka je opremljena -specifičnim službenim COA-om. Cijeli proces proizvodnje i punjenja usvaja strogu-kontrolu kontaminacije čistih prostorija i visoko{6}}upravljanje čistoćom, osiguravajući ultra-nisku količinu nečistoća, stabilnu konzistenciju serije i visoku prilagodljivost procesa, u potpunosti ispunjavajući stroge zahtjeve mokrog procesa napredne proizvodnje poluprovodnika.
Popularni tagovi: elektronske hemikalije g4 fosforna kiselina (poluprovodničke vlažne hemikalije), Kina elektronske hemikalije g4 fosforna kiselina (poluprovodničke vlažne hemikalije) proizvođači, dobavljači, fabrika

